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潔凈室知識

北京十一选五枪手:關于潔凈室的幾大分類

來源:本站    發布時間:2019/10/15 16:30:32    點擊量:
下面由深圳金光華凈化為大家介紹一下關于潔凈室的幾大分類:
深圳金光華凈化潔凈室
1.亂流式(Turbulent Flow):空氣由空調箱經風管與潔凈室內之空氣過濾器(HEPA)進入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于潔凈室等級1000-100000級。

優點:構造簡單、系統建造成本不高,潔凈室擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高潔凈室等級。

缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制作產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達到需求的潔凈度,往往須耗時相當長的時間。

2.層流式(Laminar):層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需求較高的環境使用,一般其潔凈室等級為1-100。其型式可分為二種:

(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。
優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。
缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。
(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽燜倥懦鍪彝舛換嵊跋炱淥ぷ髑?。
優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易被作業狀態或作業人員所影響。
缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

3.復合式(Mixed Type): 復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。此型式需將作業人員的工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。潔凈隧道另有二項優點:
A.彈性擴充容易;
B.維修設備時可在維修區輕易執行。
(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量的送風即可得到良好的潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線比較適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。
(3)并裝局部潔凈室(Clean Spot):將潔凈室等級1000-100000之亂流潔凈室內的產品制程區的潔凈度等級提高為10-1000級以上,作為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。
潔凈工作臺:等級1-100級。
潔凈工作棚:為在亂流式的潔凈室空間內以防靜電的透明塑料布圍成一小空間,采用獨立的HEPA或ULPA及空調送風機組而成為較高級的潔凈空間,其等級為10-1000級,高度在2.5米左右,覆蓋面積約10m2以下,四支支柱并加裝活動輪,可以彈性運用。
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